精密機(jī)械加工是在嚴(yán)格控制的環(huán)境條件下，使用精密機(jī)床和精密量具和量?jī)x來(lái)實(shí)現(xiàn)的。加工精度達(dá)到和超過(guò)0.1微米稱(chēng)超精密機(jī)械加工。在航空航天工業(yè)中，精密機(jī)械加工主要用于加工飛行器控制設(shè)備中的精密機(jī)械零件，如液壓和氣動(dòng)伺服機(jī)構(gòu)中的精密配合件、陀螺儀的框架、殼體，氣浮、液浮軸承組件和浮子等。飛行器精密零件的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、剛度小、要求精度很高，而且難加工材料所占的比重較大。精密機(jī)械加工的工藝效果是：①零件的幾何形狀和相互位置精度達(dá)到微米或角秒級(jí)；②零件的界限或特征尺寸公差在微米以下;③零件表面微觀不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1微米;④互配件能滿足配合力的要求；⑤部分零件還能滿足精確的力學(xué)或其他物理特性要求，如浮子陀螺儀扭桿的扭轉(zhuǎn)剛度、撓性元件的剛度系數(shù)等。

　　精密機(jī)械加工主要有精車(chē)、精鏜、精銑、精磨和研磨等工藝。①精車(chē)和精鏜：飛行器大多數(shù)精密的輕合金（鋁或鎂合金等）零件多采用這種方法加工。一般用天然單晶金剛石刀具,刀刃圓弧半徑小于0.1微米。在高精度車(chē)床上加工可獲得1微米的精度和平均高度差小于0.2微米的表面不平度,坐標(biāo)精度可達(dá)±2微米。②精銑：用于加工形狀復(fù)雜的鋁或鈹合金結(jié)構(gòu)件。依靠機(jī)床的導(dǎo)軌和主軸的精度來(lái)獲得較高的相互位置精度。使用經(jīng)仔細(xì)研磨的金剛石刀頭進(jìn)行高速銑切可獲得精確的鏡面。③精磨：用于加工軸或孔類(lèi)零件。這類(lèi)零件多數(shù)采用淬硬鋼，有很高的硬度。大多數(shù)高精度磨床主軸采用靜壓或動(dòng)壓液體軸承，以保證高穩(wěn)定度。磨削的極限精度除受機(jī)床主軸和床身剛度的影響外，還與砂輪的選擇和平衡、工件中心孔的加工精度等因素有關(guān)。精磨可獲得1微米的尺寸精度和0.5微米的不圓度。④研磨:利用配合件互研的原理對(duì)被加工表面上不規(guī)則的凸起部位進(jìn)行選擇加工。磨粒直徑、切削力和切削熱均可精確控制，因而是精密加工技術(shù)中獲得最高精度的加工方法。飛行器的精密伺服部件中的液壓或氣動(dòng)配合件、動(dòng)壓陀螺馬達(dá)的軸承零件都采用這種方法加工,以達(dá)到0.1甚至0.01微米的精度和0.005微米的微觀不平度。